真空泵检测

检测项目

极限压力检测：测定泵能达到的最低压力值，参数范围通常为1×10⁻²Pa至1×10⁻⁷Pa

抽速曲线测试：记录不同入口压力下的气体抽除速率，标准测试点覆盖1Pa至1000Pa范围

振动加速度测量：评估机械振动强度，三轴加速度计检测范围0.1m/s²至100m/s²

噪声声压级测试：按ISO 2151标准执行，A计权声压级测量精度±0.5dB

温升试验：监测连续运行8小时轴承温度，热电偶测量范围0-150℃

密封性验证：采用氦质谱检漏法，泄漏率检测下限1×10⁻¹²Pa·m³/s

油品污染度分析：颗粒计数仪检测润滑油中≥4μm颗粒物，符合ISO 4406等级标准

电机绝缘电阻：500V兆欧表测量绕组对地电阻，要求值≥100MΩ

气镇效能测试：量化水蒸气处理能力，测试入口压力10Pa至100Pa区间

极限真空恢复时间：记录破空后恢复至工作真空所需时间，精度±0.5秒

轴向窜动量检测：激光位移传感器测量范围±0.5mm，分辨率1μm

出口压力稳定性：动态监测48小时压力波动，压阻传感器精度±0.1%FS

检测范围

旋片真空泵：适用于电子镀膜设备真空系统，检测油路密封性及转子磨损量

螺杆真空泵：针对制药行业无油要求，验证干式压缩腔的颗粒物排放水平

扩散泵：高真空系统核心组件，测试喷嘴结构完整性及返油率

分子泵：半导体光刻设备关键部件，检测轴承动态平衡及磁悬浮控制精度

液环真空泵：化工流程专用设备，验证气液分离效率及耐腐蚀性能

往复真空泵：适用于真空包装机械，检测活塞环密封性及排气温度

低温泵：核聚变实验装置配套设备，验证冷头降温速率及冷阱吸附容量

涡旋真空泵：医疗消毒设备核心组件，检测无油运行状态下的微粒产生量

罗茨真空泵：冶金行业真空炉前级泵，测试齿轮啮合间隙及过载保护响应

离子泵：高能物理实验设备，验证钛升华率及磁场稳定性

真空机组系统：检测多级泵组协调控制逻辑及节能运行参数

真空阀门密封件：验证金属波纹管疲劳寿命及氟橡胶密封圈耐温性

检测标准

ISO 21360-1:2012真空技术-容积真空泵性能测量方法

GB/T 19956.1-2005容积真空泵性能测试标准

ASTM E2932-13真空泵油蒸发损失测定标准

ISO 1608-2:2020旋片真空泵验收规范

GB/T 3163-2007真空技术术语

ISO 10042:2019真空系统泄漏检测方法

JB/T 8944-2019往复真空泵技术条件

GB/T 7774-2007真空泵噪声测量

ISO 8573-1:2010压缩空气含油量分级

GB/T 15487-2015容积真空泵振动测试方法

SEMI F53-0709半导体设备真空系统验收标准

检测仪器

电容薄膜真空计：测量范围10⁻⁴Pa至1000Pa，用于极限压力及压力稳定性检测

激光多普勒测振仪：频率范围0.5Hz至20kHz，实现非接触式转子振动分析

四级质谱检漏仪：检测下限5×10⁻¹³mbar·l/s，定位微漏点位置

油品颗粒计数器：符合ISO 11171标准，通道数6组，粒径分辨率0.1μm

热偶真空计：测量范围0.1Pa至1000Pa，监控中真空区域压力变化

傅里叶红外光谱仪：分析润滑油氧化产物，波数范围4000-400cm⁻¹

动态流量校准仪：流量范围0.01sccm至1000sccm，标定抽速测试系统

三轴加速度记录仪：采样频率10kHz，同步采集XYZ轴向机械振动数据

声级分析系统：符合IEC 61672标准，配备防风罩及校准器

高精度功率分析仪：测量电机输入功率波动，带宽5MHz，精度±0.05%

检测服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。

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