二次离子质谱测试

检测项目

元素成分分析：对样品表面及深度方向进行元素定性、半定量及定量分析，可检测从氢到铀的所有元素。

同位素比值测定：精确测量样品中特定元素的同位素丰度比，广泛应用于地质年代学和生命科学领域。

深度剖析：通过连续溅射与检测，获取元素浓度随深度变化的分布曲线，是薄膜和界面研究的关键手段。

二维面分布成像：通过扫描离子束或成像探测器，获得特定元素在样品表面的二维空间分布图像。

三维体积分析：结合连续溅射和面扫描，重构元素在三维空间中的分布信息。

痕量杂质检测：检测材料中浓度极低（可达ppb甚至更低量级）的掺杂或污染元素。

有机分子鉴定：使用团簇离子源，对表面有机分子或高分子材料进行分子结构碎片分析和成像。

界面与掺杂分布分析：精确表征半导体器件中掺杂元素的分布轮廓以及多层膜之间的界面互扩散情况。

表面污染分析：识别和定位样品表面的无机及有机污染物，评估清洁工艺效果。

氧化层与钝化层表征：分析氧化层、氮化层等薄膜的厚度、成分均匀性及界面特性。

检测范围

半导体材料与器件：硅片、化合物半导体、集成电路中的掺杂分布、缺陷分析和污染控制。

金属与合金材料：分析合金成分偏析、表面腐蚀、氧化膜、涂层及镀层的成分与结构。

地质与宇宙化学样品：陨石、月球样品、岩石矿物中的微量元素和同位素分析，用于地质定年和成因研究。

生物组织与细胞：对生物切片中的微量元素（如钙、钾、钠）、药物分子或代谢产物进行原位成像分析。

高分子与聚合物材料：研究添加剂分布、表面改性效果、共聚物微区结构及老化降解产物。

能源材料：电池电极材料、固态电解质、燃料电池催化剂、光伏薄膜材料的成分与界面分析。

纳米材料与低维材料：量子点、纳米线、二维材料（如石墨烯）的成分、掺杂及表面化学状态分析。

玻璃与陶瓷材料：分析其体相成分、表面处理层以及晶界处的元素偏聚现象。

环境颗粒物：对大气颗粒物、粉尘等进行单颗粒分析，确定其来源和化学组成。

考古与艺术品：对文物、颜料、古玻璃等进行无损或微损的成分分析，辅助文物鉴定与保护。

检测方法

静态SIMS：使用极低剂量的一次离子束，仅分析样品最表层（1-3个原子层）的成分，适用于有机表面分析和分子鉴定。

动态SIMS：使用较高剂量的一次离子束进行快速溅射，主要用于元素深度剖析和痕量杂质分析。

成像SIMS：包括微束扫描成像和离子显微镜直接成像两种模式，用于获取元素或分子的空间分布图。

深度剖析法：通过连续溅射样品并同步采集质谱信号，将信号强度转化为浓度，溅射时间转化为深度，绘制深度分布曲线。

飞行时间SIMS：利用一次脉冲离子束，通过测量二次离子的飞行时间实现高质量分辨率和全谱检测，特别适合有机分析和高质量数离子检测。

磁扇形场SIMS：使用磁质谱仪，具有高传输效率和出色的同位素比测量精度，常用于高精度元素和同位素分析。

四极杆SIMS

团簇离子束溅射

电荷中和技术

多接收器检测技术

检测仪器设备

一次离子源

液态金属离子源

双等离子体离子源

C60/团簇离子源

大气体团簇离子源

二次离子提取透镜系统

飞行时间质量分析器

磁扇形场质量分析器

四极杆质量分析器

多接收器检测系统

检测服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。

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