检测项目

泄漏率测量：通过质谱仪检测泄漏气体的质荷比信号，计算单位时间内泄漏的气体量。检测参数：测量范围1×10⁻¹²~1×10⁻³ Pa·m³/s，精度±5%。

漏孔位置定位：利用质谱信号的强度分布差异确定泄漏点空间坐标。检测参数：定位精度≤2mm（距离≤1m），空间分辨率0.5mm。

质量数识别：基于四极杆质量分析器筛选特征气体离子的质量数。检测参数：质量数范围1~300 amu，分辨率≥1 amu（半高宽）。

背景噪声抑制：通过电子学滤波与信号处理技术降低环境干扰信号。检测参数：本底噪声≤1×10⁻¹⁵ A（离子电流）。

最小可检漏率：在规定置信水平下能检测到的最小泄漏率。检测参数：典型值5×10⁻¹³ Pa·m³/s（氦气示踪）。

响应时间：从泄漏发生到信号达到稳定值的90%所需时间。检测参数：≤10s（氦气，泄漏率1×10⁻⁹ Pa·m³/s）。

重复性：相同条件下多次测量结果的一致性。检测参数：变异系数≤3%（泄漏率1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s）。

温度影响：环境温度变化对检测结果的影响程度。检测参数：温度系数≤0.1%/℃（-20℃~80℃）。

压力范围：适用的不同真空度环境。检测参数：1×10⁻⁶~1×10⁵ Pa（绝对压力）。

气体类型适应性：可检测的示踪气体种类。检测参数：支持氦气、氢气、氩气、氮气等（需匹配质谱仪配置）。

检测范围

半导体制造设备：用于光刻机、刻蚀机等高真空设备的腔体密封性能检测，确保工艺腔室的超洁净环境。

航天器推进系统：检测火箭发动机燃料贮箱、姿态控制推力室等部件的真空密封性，防止推进剂泄漏。

高真空实验装置：如粒子加速器、同步辐射光源的真空管道与腔体，保障实验环境的超高真空度。

核反应堆部件：核燃料包壳、中子屏蔽层的真空密封检测，避免放射性物质泄漏风险。

医疗灭菌设备：高压蒸汽灭菌器、环氧乙烷灭菌柜的真空系统密封性检测，确保灭菌效果可靠性。

航空发动机密封系统：涡轮发动机压气机、涡轮段的真空辅助密封部件，防止滑油或燃气泄漏。

液晶面板制造设备：真空蒸镀机、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的腔体密封检测，保障薄膜沉积质量。

真空镀膜设备：磁控溅射仪、电子束蒸发台的真空室与管道，确保镀膜过程的均匀性与纯度。

食品包装容器：真空保鲜包装、充氮包装的密封性检测，防止微生物污染与食品氧化变质。

深冷低温容器：液氢、液氧存储罐的真空绝热层密封检测，避免外界热量侵入导致介质汽化。

检测标准

ASTM E1398-13(2020)：JianCe Test Method for Determining the Leakage Rate of a Vacuum Chamber Using a Helium Mass Spectrometer Leak Detector。

ISO 3530:2016：Vacuum technology — Mass spectrometric leak detection using helium。

GB/T 13926-2010：工业过程测量和控制术语 第3部分：压力仪表术语（含真空漏率相关术语）。

GB/T 14053-2010：真空技术 氦质谱检漏方法。

IEC 60068-2-17:2009：Environmental testing — Part 2-17: Tests — Test Q (sealed enclosures): Method 17: Leak test using helium。

ISO 16092-1:2017：Vacuum technology — Vocabulary — Part 1: General terms and definitions。

GB/T 3163-2007：真空技术 术语（补充真空漏率相关定义）。

检测仪器

四极杆质谱检漏仪：集成四极杆质量分析器与离子探测器的专用设备，用于分析泄漏气体的质荷比信号，实现泄漏率定量与气体成分识别。在本检测中负责质量数筛选、离子信号放大与数据采集。

磁悬浮涡轮分子泵组：采用磁悬浮轴承的高转速分子泵，提供高压缩比特性，用于维持质谱检漏系统的超高真空环境（≤1×10⁻⁸ Pa）。在本检测中保障离子源与质量分析器的工作真空度。

高灵敏度离子探测器：基于微通道板（MCP）的二次电子倍增器件，可检测低至1×10⁻¹⁶ A的离子电流信号。在本检测中用于捕获质谱仪输出的离子信号，转换为可测量的电信号。

真空计校准装置：配备标准真空计（如电容薄膜规、电离规）的校准系统，用于校准检漏系统中的真空度测量精度。在本检测中确保泄漏率计算所依赖的压力参数准确性。

氦气示踪气体供应系统：包含氦气钢瓶、减压阀、流量控制器的集成装置，提供稳定流量的示踪气体（纯度≥99.999%）。在本检测中通过向被测对象充入氦气，增强泄漏信号的检测灵敏度。

真空泄漏标准漏孔：经计量校准的已知泄漏率的标准件（如金属压焊漏孔、玻璃毛细管漏孔），泄漏率范围覆盖1×10⁻¹²~1×10⁻⁶ Pa·m³/s。在本检测中用于校准质谱检漏仪的测量准确性。

检测服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。