检测项目

表面粗糙度测量:量化表面的不平整程度,具体检测参数包括算术平均粗糙度Ra、均方根粗糙度Rq。

高度分布分析:测量表面特征的高度值,具体检测参数包括最大峰高Rp、最大谷深Rv。

横向尺寸评估:分析表面特征的宽度和间距,具体检测参数包括特征宽度W、周期长度P。

三维形貌重建:生成表面的三维图像,具体检测参数包括Z轴分辨率、扫描范围XY。

表面斜率计算:确定表面倾斜角度,具体检测参数包括平均斜率、最大斜率。

表面积比率:计算实际表面面积与投影面积之比,具体检测参数包括表面积比Sdr。

颗粒尺寸分布:分析表面颗粒的尺寸,具体检测参数包括平均粒径D50、分布指数。

台阶高度测量:用于半导体工艺检测,具体检测参数包括台阶高度H、边缘角度。

表面缺陷识别:检测划痕、凹坑等缺陷,具体检测参数包括缺陷密度、缺陷尺寸。

薄膜厚度测定:测量薄膜样品的厚度,具体检测参数包括膜厚值、均匀性偏差。

弹性模量映射:通过力曲线测量局部硬度,具体检测参数包括杨氏模量E。

检测范围

半导体晶圆:用于表面形貌和缺陷检测。

金属合金:分析表面微观结构和粗糙度。

聚合物涂层:测量涂层表面的平整度和质量。

生物细胞:观测细胞表面形貌和结构。

纳米碳材料:如石墨烯的形貌分析。

光学玻璃:检测透镜表面的粗糙度。

陶瓷制品:评估表面微观结构。

复合材料:分析纤维与基体的界面形貌。

MEMS设备:测量微机电系统的表面特征。

矿物样本:研究地质样品的表面形貌。

医疗器械表面:用于生物相容性相关的形貌检测。

检测标准

ASTM E2848 JianCe Guide for Atomic Force Microscopy

ISO 13095 Surface chemical analysis — Atomic force microscopy — Method for determination of tip shape

GB/T 19619-2004 纳米材料术语

ISO 25178-6 Geometrical product specifications — Surface texture: Areal — Part 6: Classification of methods for measuring surface texture

GB/T 1031-2009 产品几何技术规范 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值

ASTM E2530 Practice for Atomic Force Microscopy of Multiwalled Carbon Nanotubes

检测仪器

原子力显微镜:用于高分辨率表面形貌成像,具体功能包括接触模式、非接触模式形貌扫描。

探针校准标准片:用于AFM探针的形状和尺寸校准,具体功能包括提供参考形貌进行仪器验证。

样品台定位系统:精确控制样品位置,具体功能包括XYZ方向移动以实现区域扫描。

环境隔离罩:减少振动和噪声干扰,具体功能包括提供稳定测量环境。

数据分析工作站:处理AFM原始数据,具体功能包括生成形貌图像和参数计算。

探针更换工具:安全更换AFM探针,具体功能包括避免探针损坏和污染。

检测服务范围

1、指标检测:按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享:按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析:对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4,样品前处理:对产品进行预处理后,进行样品前处理,包括样品的采集与保存,样品的提取与分离,样品的鉴定以及样品的初步分析,通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析:根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测,然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。