电子级铜蚀刻液检测

检测项目

电子级铜蚀刻液的系统化检测包含六大核心模块：

化学成分分析：硫酸（H₂SO₄）浓度（1.5-3.0mol/L）、过氧化氢（H₂O₂）含量（5-15%）、有机添加剂（硫脲类/苯并三唑）定量

金属杂质控制：铁（Fe≤0.1ppm）、镍（Ni≤0.05ppm）、锌（Zn≤0.2ppm）等18种金属离子总量控制

酸度参数测定：pH值（0.8-1.5）、游离酸浓度（1.2-2.8N）、缓冲容量测试

氧化还原特性：ORP值（600-900mV）、有效氯浓度（≤5ppm）、氧化剂衰减速率

颗粒物监测：0.1-5μm粒径分布、固体悬浮物含量（≤50mg/L）

溶液稳定性评估：温度敏感性（20-40℃）、储存期分解产物分析、循环使用性能测试

检测范围

检测方法

ICP-MS法：依据SEMI C34标准测定Na⁺、K⁺等碱金属及过渡金属元素含量

电位滴定法：采用DIN 38409-H5标准进行总酸度及游离酸定量分析

激光粒度分析法：执行ISO 13320规定的Mie散射原理颗粒物分布测试

循环伏安法：通过CHI660E电化学工作站测定溶液氧化还原动力学参数

TOC分析法：按照ASTM D7573标准进行有机碳总量测定

加速老化试验法：参照IEC 60749标准开展40℃/85%RH环境下的稳定性评估

检测仪器

Agilent 7900 ICP-MS系统

配备八极杆碰撞池技术实现ppt级痕量元素检测能力

Metrohm 905 Titrando电位滴定仪

采用动态终点识别算法完成复杂基体溶液的精确滴定

Malvern Mastersizer 3000激光粒度仪

具备0.01-3500μm量程范围及Mastersizer软件自动分析功能

TOC-L CPH总有机碳分析仪

应用680℃催化燃烧法实现0.001mg/L检出限的碳含量测定

Sartorius Cubis II微量天平

配备0.1μg分辨率称重模块满足高精度样品制备需求

Tescor温湿度试验箱

-70℃至180℃宽温域控制能力支持加速老化试验条件模拟

检测服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。

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