检测项目
金属杂质含量:分析材料中金属离子的存在,检测参数包括钠、钾、铁、铜等元素的浓度,单位通常为ppm或ppb。
颗粒物计数:评估悬浮颗粒的数量和粒径分布,检测参数包括颗粒浓度和大小范围,如大于0.1微米的颗粒数。
有机物残留:测定有机化合物的含量,检测参数包括总有机碳(TOC)或特定化合物浓度,单位mg/L或ppb。
水分含量:测量材料中的水分子,检测参数以百分比或ppm表示,使用卡尔费休法等。
电导率:评估材料的导电性能,检测参数包括电阻率值,单位Ω·cm,或电导率μS/cm。
pH值:检测溶液的酸碱度,检测参数为pH数值,范围0-14。
离子浓度:分析阴离子和阳离子的含量,检测参数包括氯离子、硫酸根离子、钠离子等的浓度,单位mg/L或ppb。
表面污染:检查表面杂质,检测参数包括粒子计数或化学元素分析,如通过X射线荧光检测。
气体杂质:检测溶解或吸附的气体,检测参数包括氧气、氮气、二氧化碳等的浓度,单位ppm或百分比。
放射性污染:测量放射性元素的活度,检测参数包括α、β、γ射线的计数率或活度浓度。
检测范围
半导体硅片:高纯单晶或多晶硅材料,用于制造集成电路和微电子器件。
电子化学品:包括蚀刻液、清洗剂和溶剂,用于半导体加工和表面处理。
高纯气体:如氮气、氩气、氢气,用于沉积、蚀刻和惰性环境工艺。
光刻胶:感光性树脂材料,用于微影技术定义电路图案和掩膜。
封装材料:环氧模塑料、陶瓷基板和密封剂,用于芯片保护和电气连接。
导电浆料:含金属颗粒的浆料,用于印刷电路板、太阳能电池和显示技术。
绝缘材料:如聚酰亚胺薄膜、氧化硅层,用于电气隔离和介质应用。
溅射靶材:高纯金属或合金靶材,用于物理气相沉积涂层和薄膜制备。
化学机械抛光液: slurry用于晶圆表面平坦化,去除材料并实现光滑表面。
超纯水:高度纯化的水,用于清洗、稀释和工艺步骤,电阻率高达18.2 MΩ·cm。
检测标准
ASTM D1193:试剂水标准规范,用于定义水的纯度等级。
ISO 14644-1:洁净室及相关受控环境空气洁净度分级标准。
GB/T JianCe46.1:电子级水规范,规定水的电阻率和杂质限值。
ASTM D4327:离子色谱法测定水中阴离子的标准测试方法。
ISO 17294-2:水质-电感耦合等离子体质谱法测定元素含量的标准。
GB/T 5750.5:生活饮用水检验方法-无机非金属指标,适用于离子分析。
ASTM E1004:电导率测试方法,用于评估材料的导电性能。
ISO 11885:水质-电感耦合等离子体原子发射光谱法测定元素的标准。
GB/T JianCe46.7:电子级水中的颗粒测定方法,规定颗粒计数和大小。
ASTM D5127:电子级水中的阴离子测定标准,用于高纯水分析。
检测仪器
电感耦合等离子体质谱仪:用于痕量元素分析,检测金属杂质至亚ppb级别,功能包括多元素同时测定和高灵敏度测量。
颗粒计数器:测量液体或气体中的颗粒数量和大小分布,功能包括实时计数、粒径分类和浓度计算。
总有机碳分析仪:测定水样中的有机碳含量,功能通过氧化和检测二氧化碳来实现TOC测量。
离子色谱仪:分离和检测离子物种,用于阴离子和阳离子浓度分析,功能包括色谱分离和电导检测。
气相色谱-质谱联用仪:用于挥发性有机物分析,检测残留溶剂和污染物,功能包括分离、鉴定和定量有机化合物。
电阻率仪:测量水的电导率或电阻率,评估纯度水平,功能包括温度补偿和自动测量。
pH计:测定溶液的酸碱度,使用电极进行精确测量,功能包括数字显示和校准。
水分测定仪:如卡尔费休滴定仪,精确测定样品中的水分含量,功能包括自动滴定和终点检测。
表面污染检测仪:如X射线荧光光谱仪,用于表面元素分析,功能包括非破坏性检测和元素 mapping。
放射性检测仪:测量样品的放射性,使用盖格计数器或闪烁计数器,功能包括活度测量和背景扣除。
检测服务范围
1、指标检测:按国标、行标及其他规范方法检测
2、仪器共享:按仪器规范或用户提供的规范检测
3、主成分分析:对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。
4,样品前处理:对产品进行预处理后,进行样品前处理,包括样品的采集与保存,样品的提取与分离,样品的鉴定以及样品的初步分析,通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;
5、深度分析:根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测,然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。