稀有气体检测

检测项目

稀有气体检测涵盖六大核心指标：基础组分定量分析（He/Ne/Ar/Kr/Xe/Rn）、痕量杂质测定（O₂≤0.1ppm、N₂≤0.5ppm）、同位素丰度比（³He/⁴He）、气体纯度等级验证（99.999%-99.9999%）、残留水分含量（露点≤-70℃）以及放射性核素筛查（针对氡气）。特殊应用场景需增加氧化性物质总量（TOX）、颗粒物浓度（≥0.1μm）等扩展参数。

检测范围

工业制造领域覆盖半导体晶圆加工保护气（Ar纯度≥99.9995%）、金属焊接屏蔽气（He/Ar混合比偏差＜±0.3%）、特种照明填充气（Kr/Xe配比精度±0.1%）。科研医疗领域涉及MRI超导磁体冷却剂（液氦纯度≥99.9999%）、核反应堆中子慢化剂（高纯氘代氩）。环境监测包含地下工程氡气浓度（＜150Bq/m³）、大气本底稀有气体同位素追踪。

检测方法

气相色谱-热导联用法（GC-TCD）用于主成分定量分析（ASTM D1945），配备分子筛柱与PLOT毛细管柱实现He/Ne分离。质谱联用技术（GC-MS）测定ppb级烃类杂质（ISO 19238），高分辨磁质谱完成同位素比值测定（±0.01%）。傅里叶红外光谱（FTIR）检测极性分子污染物（H₂O/CO₂），激光光声光谱实现原位痕量氧分析（LOD 0.05ppm）。放射性测量采用α能谱法测定²²²Rn活度（EPA 402-R-98-008）。

检测仪器

四极杆质谱联用系统需配置双通道进样系统与冷阱富集装置（质量范围1-300amu）。高精度气相色谱仪应具备多阀柱切换功能与电子压力控制模块（EPC）。专用氦离子化检测器（PDHID）灵敏度需达0.01ppb。放射性测量设备须含金硅面垒型探测器与多道能谱分析单元。辅助设备包括恒温气体稀释装置（稀释比1:10000）、全自动露点仪（测量范围-100~+20℃）以及颗粒计数器（0.1-5μm分级测量）。

检测服务范围

1、指标检测：按国标、行标及其他规范方法检测

2、仪器共享：按仪器规范或用户提供的规范检测

3、主成分分析：对含量高的组分或你所规定的某种组分进行5~7天检测。

4，样品前处理：对产品进行预处理后，进行样品前处理，包括样品的采集与保存，样品的提取与分离，样品的鉴定以及样品的初步分析，通过逆向剖析确定原料化学名称及含量等共10个步骤;

5、深度分析：根据成分分析对采购的原料标准品做准确的定性定量检测，然后给出参考工艺及原料的推荐。最后对产品的质量控制及生产过程中出现问题及时解决。

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