GB/T20510-2024氧化铟锡靶材

标准中涉及的相关检测项目

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1. 标准《GB/T 20510-2024 氧化铟锡靶材》的主要检测项目

• 化学成分分析
  • 氧化铟（In₂O₃）含量
  • 氧化锡（SnO₂）含量
  • 杂质元素含量（如铁、镍等）
• 晶体结构与相组成检测
  • X射线衍射分析（XRD）
• 物理性能检测
  • 密度测定
  • 电阻率测试
  • 孔隙率测定
• 靶材均匀性和纯度检测
  • 显微组织分析
  • 纯度分析
• 机械性能检测
  • 硬度测定
  • 断裂韧性测试

2. 标准中涉及的主要检测方法

• 化学分析法：
  • ICP-AES（电感耦合等离子体发射光谱法）
  • 化学滴定法
• X射线衍射方法（XRD）： 用于晶体结构探测。
• 显微镜检测：
  • 扫描电子显微镜（SEM）分析
• 密度测定方法： 阿基米德原理法。
• 电阻率检测方法： 四探针测试法。
• 机械性能检测方法： 硬度计与其他相关设备进行测试。

3. 标准中涉及的主要产品

• 氧化铟锡靶材（ITO靶材），用于制备透明导电薄膜。
• 显示面板用氧化铟锡靶材。
• 太阳能光伏行业用氧化铟锡靶材。
• 电子及半导体工业使用的溅射靶材。

注：具体细节可参考实际发布的《GB/T 20510-2024》标准官方文件。

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GB/T20510-2024氧化铟锡靶材 的简介

本文件规定了氧化铟锡靶材（以下简称ITO靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标
志、包装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于由In2O3和SnO2粉末按照一定比例混合，以常压烧结工艺生产的氧化铟锡靶材，是制
作透明导电薄膜的核心材料。

GB/T20510-2024氧化铟锡靶材 的基本信息

标准名：氧化铟锡靶材

标准号：GB/T 20510-2024

标准类别：

发布日期： 2024-09-29

实施日期：

标准状态：即将实施

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