GB/T34879-2017产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则
发布时间：2024-12-21
本标准描述了光学共焦显微镜在宏观或微观三维表面形状测量中的计量特性，并规定了测量不确定度评定的横向和轴向测量结果的示值读取方法。本标准适用于工业测量光学共焦显微镜。
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
标准中涉及的相关检测项目
以下是根据标准《GB/T 34879-2017 产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则》中的一些相关内容，包括主要的检测项目、检测方法以及涉及的产品：
相关检测项目
- 分辨率：横向分辨率和纵向分辨率的测量。
- 测量范围：显微镜的测量范围在平行方向（横向）和垂直方向（纵向）上的最大测量能力。
- 线性度：包括横向与纵向方向上的测量线性误差。
- 重复性：测量重复性评定，确保设备稳定性。
- 探测器响应：光学探测器的灵敏度和信号准确性。
- 测试准确性：不同类型表面、材料和结构的测量精度。
- 测量不确定度：评估整个测量系统的不确定度。
检测方法
使用标准样品（标准台阶高度、网格等）：利用认证的标准样品来校验显微镜的精度和可靠性。
重复测量法：多次测量同一标准样品，统计数据来评估重复性和稳定性。
比较分析法：将显微镜的测量结果与标准参考值或其他计量方法（如干涉测量）进行比较。
线性曲线拟合法：通过对多点样本的测量进行曲线拟合，评估其线性度。
不确定度评估法：依据标准对整个测量过程中可能存在的不确定度来源进行量化分析。
涉及产品范围
本标准主要应用于通过光学共焦显微镜来进行表面形貌测量的产品和领域，包括但不限于：
工业零部件：高精度机械零件表面粗糙度、微米级结构评估。
电子元件：芯片表面特性、线路板厚度及微小结构形貌测量。
材料科学：金属材料、非金属材料和复合材料的表面特征分析。
生物医学产品：医疗器械表面光滑性、生物材料的形貌分析。
光学元件：光学镀膜表面、微透镜阵列的检测。
以上内容基于《GB/T 34879-2017》的部分要求，具体实施还需参考该标准的详细条款及附录。
GB/T34879-2017产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则 的简介
本标准描述了光学共焦显微镜在宏观或微观三维表面形状测量中的计量特性，并规定了测量不确定度评定的横向和轴向测量结果的示值读取方法。本标准适用于工业测量光学共焦显微镜。GB/T34879-2017产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则 的基本信息
标准名：产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定导则
标准号：GB/T 34879-2017
标准类别：
发布日期： 2017-11-01
实施日期：
标准状态：现行
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